电子工业洁净厂房设计芯片行业洁净室装修(下)

2022-04-22  来自: 海博尔净化工程有限公司 浏览次数:177

        半导体厂主要通过两种模式消除静电,一种是被动静电消除,该设备解决了问题,包括墙板、高架地板、办公设备等。另一个洁净室的阶梯网络,主动静电消除是使用静电消除器,针对不同的清洁水平有许多形式的静电消除器。

        我们分别解释了新风系统的一部分,主要是因为半导体是环境中罪众要的部分,也是罪容易出现问题的部分。新风系统有三个主要功能,以确保洁净室毕须是正压。二是控制洁净室的湿度。三是净化室外空气,保证供气质量。新风系统的第壹个特点是能耗比较高,每个范围都会有一个大的制冷风扇和大风量,另一个结构复杂。新风系统的设计有一些要求,主要是节能。整个空调系统占半导体厂能耗的30%-45%,其中近70%被新风系统消耗掉。因此,有一些节能措施,包括热回收设计,由于时间的关系,这里不再详细介绍。

电子洁净厂房

        罪后一个是AMC控制,通常有两个标准,一个是ISO14644标准,另一个是Semi标准。AMC分为四种,第壹种是酸性,第贰种是碱性,第三种是可凝性,第四种是掺杂性。碱性物质主要在光照部分产生一些影响,掺杂问题不是很突出,其他情况基本问题不大。对半导体制造有很大的影响,每个过程都有一些影响。比如酸、碱、Solvent敏感,ECP对VOC和酸敏感,Thinfilm对酸敏感。AMC的控制一般有这样一个方案,不同的工厂可能会采用不同的形式。

        我们通过两种方式控制新鲜空气AMC,第壹种是喷气式。第贰种是化学过滤器,通过这两种过滤器送入洁净室的新鲜空气会得到更好的控制。洁净室的部分污染来自洁净室,这部分仍然是通过化学过滤器。如果不能满足要求,则需要在设备端的小环境中安装化学过滤器,以满足要求。因此,对AMC控制的要求越来越严格,这也是近年来发生的事情。只有设备过滤不能满足要求,才能出现综合控制模式。

净化车间工程应如何保证质量

电子工业洁净厂房设计芯片行业洁净室装修(上)

海博尔净化工程公司--专注生物医疗、电子化工、新能源等洁净无尘车间、手术室、实验室净化工程设计及工程技术服务!!!

联系电话: 周海洋15515559929/15515559919

版权所有: 海博尔净化工程有限公司

网站地图 XML


CopyRight © 版权所有: 海博尔净化工程有限公司 网站地图 XML 商情信息

本站关键字: 净化公司 净化工程公司 净化车间 洁净装修 海博尔净化工程


扫一扫访问移动端