电子厂房无尘车间净化工程要求及案例
2021-12-07 来自: 海博尔净化工程有限公司 浏览次数:210
随着计算机、微电子和信息技术的发展，促进了电子制造业的快速发展，但也促进了洁净室技术的发展，对洁净室的设计提出了更高的要求。电子制造业清洁厂房的设计是一项综合性技术。只有充分了解电子制造业清洁厂房的设计特点，合理设计，才能降低电子制造业的次品率，提高生产效率；
万级洁净室电子制造厂的特点：
洁净度等级要求高，风量、温度、湿度、压差、设备排气按需控制、照度、洁净室截面风速按设计或规范控制，此外，洁净室对静电要求级其严格。其中对湿度的要求尤为高。由于工厂过于干燥，容易产生静电，导致CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度应控制在50-60%之间(特殊清洁车间有相关温湿度规定)。此时能有效消除静电，使人感到舒是。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是电子制造行业洁净室的重要组成部分。由于电子产品在制造过程中对室内空气环境和质量有严格的要求，主要以控制颗粒和浮尘为主要对象，对环境温湿度、新鲜空气量和噪声有严格的规定。
●电子制造商万级无尘车间噪声级(空态):不得超过65dB(A)
●电子厂无尘车间垂直流无尘车间满布比不小于60%，水平单向流无尘车间不小于40%，否则为局部单向流。
●电子厂无尘车间与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
●电子制造业万级无尘车间的新鲜空气量应取以下两项中的大值:
●补偿室内排气量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
●确保无尘车间每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。电子制造业无尘车间净化空调系统加热器应设置新鲜空气和超温断电保护。如果采用点加湿，应设置无水保护。在寒冷地区，新鲜空气系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量应取以下三个大值:
●确保电子制造商无尘室空气清洁度等级的送风量:
●电子厂无尘车间的送风量根据热湿负荷计算确定:
●向电子制造商无尘车间提供的新鲜空气量:电子无尘车间净化原理:气流→初级空气过滤器净化→空调→中级空气过滤器净化→风机送风→管道→髙效空气过滤器净化出风口→吹入房间→带走灰尘、细菌等颗粒→回风百叶窗→初级空气过滤器净化重复上述过程，达到净化目的。电子无尘车间参数：
●换气次数：1万级≥15次；1万级≥20次；1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa。
●平均风速：10级，100级0.3-0.5m/s；冬季温度>16℃；夏季26℃；波动±2℃。
●温度45-65%；高标准粉末车间湿度约为50%；电子车间湿度略高，避免静电。
●噪音≤65dB(A)；新风补充量为总送风量的10%-30%；照度为300LX。