电子半导体无尘车间的环境与生产要求
2021-01-28 来自: 海博尔净化工程有限公司 浏览次数:247
电子半导体无尘车间的环境与生产要求
随着半导体制程技术的飞速发展，芯片线宽已经进入纳米级，相应的产品对半导体产品生产环境的要求也越来越高，因此半导体净化工程洁净室内系统的运行状态对硅芯片品质和通过率的影响举足轻重，净化洁净室的洁净等级也需要有一个公认的标准，比如以Class10为例，意谓在单位立方英寸的洁净室空间内，平均只有粒径0.5微米以上的粉尘10粒。所以Class后头数字越小，洁净度越佳，当然其造价也越昂贵。
半导体净化车间洁净度等级标准及要求半导体特性决定其制造过程需要有洁净度要求，环境中杂质对半导体的特性有着改变或破坏其性能的作用，而杂质各式各样，如金属离子会破坏半导体器件的导电性能，尘埃粒子破坏半导体器件的表面结构等，所以在半导体器件生产过程中对什么都需要严格控制。为此深圳赛纳威开始开发多通道远程遥测激光尘埃粒子计数器及远程监控系统，它可以即时检测到单位体积空气中的颗粒物数量，还能实现7*24实时远程自动监测，并以其快速、准确的特点，在电子行业、制药车间、半导体、光学或严谨机械加工等洁净室环境自动监测系统中得到了广泛的应用。
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