三、清洁厂房应设置备用照明；备用照明是用来保证正常照明失效时能够继续进行正常活动的照明。对于配备柴油发电机装置的清洁厂房，备用照明电源可由柴油发电机提供；对于没有柴油发电机装置的无尘厂房，备用照明电源可与正常照明的供电干线连接到不同的变压器，或与正常照明的供电干线自变电站的低压屏幕（或母线）分开。

        清洁车间的备用照明应按比例均匀布置，照度不得低于一般照明的10%。灯具可与无尘车间的一般照明灯具型号相同。带电池的灯具通常作为正常照明工作，停电时自动转入应急照明。该方法功能独立，布线简单，应用灵活，受外部电源限制较小。另一种流行的方式是集中电源应急照明，由集中电池电源装置为分散的应急照明灯（无电池）供电。在正常状态下，由城市供电。当城市电源停电时，应急电源将自动切断。市电恢复供电时，电源装置自动转化为市电供电。集中电源应急照明的优点是维护管理方便，使用寿命长，电源电压稳定性强，保护功能完善，起动速度快，占地面积小，环保。缺点需要另一条线路，不如自带电源的应急照明灵活。一旦出现故障，影响范围很大。与自带电源应急照明相比，综合价格相似，略便宜，值得在净化工程设计中推广。

        四、清洁厂房照明节能：净化厂房照明要求高于一般厂房，室内天花板短，照明能耗大，一般采用荧光灯作为光源更合适。但选择不同种类的荧光灯管，对提高光效、节能也很重要。选择电子镇流器或节能电感镇流器也可以达到节能的目的。与传统电感镇流器相比，荧光灯电子镇流器和节能电感镇流器功耗小，能效因素高，可以明显节约电费，但价格高。照明节能措施包括：选择合理的照明标准值；选择合适的照明方法，照明要求高的地方采用混合照明；合理选择照明控制方法，根据照明使用特点分区控制照明，适当增加照明开关点。

        五、洁净厂房照明布线应注意的问题：洁净厂房照明布线应遵循隐蔽的原则，如各种电气线路和转业管道。洁净室的气流类型不同，其建筑结构也不同。非单向流洁净室一般只有技术夹层或天花板；垂直单向流洁净室设有上下技术夹层，上技术夹层为送风静压箱、循环风处理装置、髙效过滤器、部分电力、照明、通信管道；下技术夹层为回风静压箱（回风管），一般敷设水管、气体管道、电气管道、电缆桥架、封闭母线等；与洁净室相邻的技术夹层或技术竖井敷设垂直管道或不适合放置在洁净厂房的辅助生产设备。照明配电箱通常位于天花板上方的技术夹层或技术夹层中，容易接近负荷众心，水平布线短，隐蔽。只有天花板的洁净室，天花板内的管道复杂。敷设电气管道时，注意远离爆炸性气体管道或采取相关措施；毕须安装在洁净室的照明配电箱和开关应尽可能隐蔽。电线和电缆管道毕须通过天花板密封，以防止天花板内的灰尘和细菌进入洁净室。

这3个步骤直接影响无尘车间安全事故！！！

无尘车间如何对半导体材料除湿？