大面积厂房超洁净施工管理(一)

        随着我国超大规模集成电路产业的发展，尤其是第五代TFT-LCD产业的发展，以及其它行业对空气净化要不熟的不断提高，洁净厂房的建设越来越多，净化级别不断提高，净化面积越来越大，而建设方对施工周期要求越来越短，合理的施工组织计是建设一个快速、合格的洁净厂房的保证。本文以某大型洁净生产厂房为例介绍洁净厂房安装工程过程中所采取的洁净保证措施。

        1．大型超净厂房的结构特点该洁净厂房采用目前guo际上liu行的新风机+FFU（风机过滤单元）+FCU（风机盘管）的形式，保证净化的循环风由FFU实现，房间内的温湿度由新风机组和FCU来保证，在空间立面上分成以下几个区域。

        （1）.下技术夹层：高度为5.3米，其主要用途为设置气体、给排水等动烽设备，敷设管道电气线路，放置新风机组和FCU等。地面涂层为环氧自流坪，四周用金属壁板封闭。

        （2）.生产层：高度为5.4米，为工艺工用室、设备安装区，它是整个厂房的核心空气处于垂直层流状态的功能。活动地板铺设在井字梁上，井字梁表面用水性环氧涂料进行涂装处理。吊顶部分为格栅吊顶系统，局部铺高FFU，其余区域铺设盲板，与上静压箱层隔开。工作层四周金属壁板封闭与非洁净区隔开。

        （3）.静压箱层：高度为2.5米，对由经回风夹道进入区域的新风和回风的混合风进行均压处理，并经FFU加压过滤后送入工作区，同时在该区域设置了自动喷淋管道系统（工作层用）和电气系统。静箱层上部用夹芯金属板与上部钢屋架非净化部分分隔开来。

净化洁净室常用的三种气流类型

洁净室净化工程的发展历史和未来前景